
強誘電体テスタ(aixACCT TF Analyzer 1000)(左):強誘電体サンプルに対して電場(E)に対する分極(P)のヒステリシス曲線(P-E曲線)を測定する装置。
膜厚・屈折率測定装置(Mericon社製プリズムカプラ)(左):プリズムに薄膜サンプルを接触させ、レーザーを入射し、モードアングルを測定することで、試料の膜厚と屈折率を同時に測定できる装置。
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ソーラーシミュレーター(左):疑似太陽光(AM1.5G)を照射しながら作製した太陽電池の電流密度(J)の電圧(V)依存性を測定する装置。 得られたJ-V曲線を用いることで、その太陽電池の短絡電流密度、開放電圧、フィルファクター、光電変換効率といったパラメータを見積もり、太陽電池の性能を評価することができる。
分光感度測定装置(右):作製した太陽電池に対して量子効率(IPCE)の波長依存性を評価する装置。
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真空蒸着装置(サンユー電子社製 SVC-700TM):超高真空下で蒸着源を加熱気化することで、目的の基板上に薄膜を作製する装置。フラーレンやフタロシアニンなどの有機半導体材料、アルミニウムや金などの電極材料を順次成膜することで薄膜太陽電池やトランジスタなどの素子を作製している。
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スピンコーター(ATC-220D)(左):溶液を滴下した基板を高速で回転させることで、基板表面に均一な薄膜を作製する装置。有機太陽電池やトランジスタの半導体層などを成膜している。右側2つは基板乾燥用のベルジャー型バキュームオーブン。
簡易スパッタ装置(サンユー電子社製 QUICK COATER SC-701):スパッタ方式により白金薄膜を作製する装置。色素増感太陽電池の白金電極を作製する際に用いている。
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静電スプレー(メック社製エレクトロスピニング紡糸装置)(左):溶液をシリンジポンプで紡糸口まで一定の速度で押し出しながら、10〜30kVの電圧を印加することで、基板上に薄膜を作製する装置。
ディップコーター(あすみ技研社製精密ディップコーティング装置N100S)(右):溶液に浸した基板を一定の速度でゆっくり引き上げることにより基板上に薄膜を作製する装置。
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スプレーコーター(旭サナック社製 rCoater研究用小型コーター):材料溶液を基板上にスプレー法にて塗布し、均一に成膜する装置。右側写真はスプレーのノズル部分とマスクをした基板設置用台座部分。これらをあらかじめ準備したプログラムに従い動かすことで、目的箇所に溶液を塗布することができる。また、繰り返し塗布することで、溶解度の悪いサンプルや粘度の低い溶液に関しても成膜で可能。
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グローブボックス(グローブボックスジャパン社製GBJF100型):酸素に不安定な材料や基板を窒素下で取り扱うための装置。左上のグローブボックス(1号機)で基板加熱や太陽電池の封止を、右上のグローブボックス(2号機)でサンプルの調製を行っている。 また、左下のグローブボックス(3号機)の中にはスピンコーター(右下:ミカサ社製MS-A100)が設置してあり窒素雰囲気下での成膜ができる。
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